纳设智能全栈自研碳化硅外延炉,不断创新核心技术,工艺指标行业领先,独特的双腔设计,实现产能翻倍。凭借自主研发“多区独立调控系统”和“智能气体场仿真算法”,纳设智能成功突破碳化硅外延两大极限,将外延片良率提升至98%。
从研发到成品,再到批量销售,纳设团队齐心协力,创先争优,已将外延炉供货给广东天域半导体等龙头企业,设备稳定性MTBF(平均无故障时间)突破2000小时,达到行业Tier1水平。
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